ACM Research, Inc. attraverso la sua filiale operativa ACM Research (Shanghai), Inc. ha presentato il suo strumento Ultra Track, segnando il suo ingresso nel mercato dei binari. La partecipazione di ACM a questa nuova categoria di prodotti è una naturale evoluzione della sua esperienza nei sistemi di pulizia, rivestimento e sviluppo. L'Azienda ha completato la ricerca e sviluppo del suo primo strumento di rivestimento autonomo e dello strumento di sviluppo per il packaging nel 2013 e li ha consegnati nel 2014. ACM prevede di consegnare il primo strumento Ultra Track Coater/Developer ArF a un cliente nazionale cinese tra poche settimane, e un modello i-line nel 2023, e ha anche iniziato lo sviluppo di un modello KrF.

Ultra Track di ACM è uno strumento di processo da 300 mm che offre un flusso d'aria uniforme verso il basso, una gestione rapida dei robot e un software personalizzabile per soddisfare le esigenze specifiche dei clienti. Lo strumento ha molteplici caratteristiche che migliorano le prestazioni in termini di difettosità, produttività e costo di proprietà. L'Ultra Track supporterà l'intera gamma di applicazioni litografiche, compresi i processi i-line, KrF e ArF.