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02/04	Axcelis Technologies, Inc. annuncia la spedizione dell'implanter 'Purion EXE SiC Power Series' e il successo della chiusura della valutazione 'Purion H200 SiC Power Series' presso i principali produttori di dispositivi di potenza in Giappone	CI
20/03	Axcelis Technologies, Inc. annuncia spedizioni multiple di impianti 'Purion M SiC Power Series' da 150 mm ai principali produttori di dispositivi di potenza in Cina	CI