Park Systems ha annunciato il lancio della linea di prodotti Park NANOstandardo. Questa nuova linea di prodotti fornisce campioni standard di calibrazione per le misurazioni AFM e SEM, consentendo agli utenti di misurare e analizzare con precisione i loro campioni. Il Park NANOstandard è equivalente ai prodotti tracciabili NIST per la misurazione, tra l'altro, delle dimensioni critiche (CD) dei modelli di semiconduttori.

I prodotti Park NANOstandard includono il caratterizzatore di punte AFM (AFMTC) e la calibrazione ad alto ingrandimento (HMC). L'AFMTC è un campione di calibrazione progettato per valutare il raggio e l'angolo di semicono di una punta del microscopio a forza atomica (AFM). È nano-modellato con linee di larghezza compresa tra 10 e 50 nm.

È rintracciabile presso l'Istituto coreano di ricerca sugli standard e la scienza (KRISS) per la norma ISO 17034:2016 ed è rintracciabile attraverso la costante reticolare atomica nel substrato di silicio mediante HR-TEM. Viene fornito anche un programma software per la calibrazione e il calcolo dell'incertezza. Il campione standard HMC è realizzato in silicio policristallino e presenta cinque valori certificati per le larghezze di linea che vanno da 20 nm a 80 nm e cinque valori certificati per i valori di passo che vanno da 100 nm a 900 nm.

Il campione standard HMC è tracciabile secondo il KRISS per la ISO 17034:2016. È anche tracciabile attraverso la costante reticolare atomica nel substrato di silicio mediante microscopia elettronica a trasmissione ad alta risoluzione (HR-TEM). I prodotti Park NANOstandard sono prodotti in collaborazione con Park Systems da Kims Reference Corp.

La linea di prodotti Park NANOstandard è progettata per fornire una calibrazione affidabile e precisa dei sistemi AFM e SEM, consentendo agli utenti di misurare e analizzare accuratamente i loro campioni.