JEOL Ltd. ha annunciato il lancio del sistema FIB-SEM oJIB-PS500io il 1° febbraio 2023. Con la struttura più fine dei materiali avanzati e la crescente complessità dei processi, le tecniche di valutazione come l'osservazione morfologica e l'analisi elementare richiedono una maggiore risoluzione e precisione. Nella preparazione dei campioni per i microscopi elettronici a trasmissione (TEM) nell'industria dei semiconduttori e nei settori delle batterie e dei materiali, sono richieste "maggiore precisione" e "campione più sottile".

Questo prodotto è un sistema combinato del sistema FIB (Focused Ion Beam) che può elaborare con elevata precisione e del SEM (microscopio elettronico a scansione) ad alta risoluzione, per soddisfare queste esigenze. Caratteristiche principali: La colonna FIB consente la lavorazione con un fascio di ioni Ga a grande corrente, fino a 100nA. L'elaborazione ad alta corrente è particolarmente efficace nella preparazione di campioni in sezione trasversale per l'imaging e l'analisi di grandi aree.

Inoltre, la colonna FIB è impostata su una distanza di lavoro ridotta. Insieme a un alimentatore di nuova concezione, ha permesso di migliorare notevolmente le prestazioni di lavorazione a una bassa tensione di accelerazione. Un sistema di lenti super-coniche di nuova concezione è integrato nella colonna SEM, migliorando notevolmente la risoluzione dell'immagine a una bassa tensione di accelerazione.

Questa immagine superba è molto utile per controllare lo stato di fresatura del punto finale del campione di lamelle utilizzando il SEM. Il JIB-PS500i adotta una camera per campioni di grandi dimensioni e uno stadio per campioni di nuova concezione, aumentando la gamma di movimento dello stadio e quindi adattando un campione di grandi dimensioni. Inoltre, un rilevatore STEM di nuova concezione, che può essere utilizzato con l'inclinazione del palcoscenico a 90 gradi, consente una transizione senza soluzione di continuità dalla preparazione del campione TEM all'osservazione STEM.

Per la GUI operativa, viene utilizzato oSEM centero, che è stato ben accolto nella serie JSM-IT800 di microscopi elettronici a scansione ad alta risoluzione, consentendo la piena integrazione dell'analisi EDS. Una cartuccia a doppia inclinazione e un supporto TEM dedicato consentono un allineamento più preciso e facilitano il trasferimento del campione tra TEM e FIB.