Advanced Energy Industries, Inc. ha presentato la rete di adattamento dell'impedenza NavX con algoritmi e comunicazione diretta con il generatore, che consente livelli superiori di controllo del plasma precisi e ripetibili, fondamentali nella fabbricazione 'Angstrom-Era'. I processi di incisione dei semiconduttori di nuova generazione richiedono livelli di controllo del plasma senza precedenti durante le pulsazioni rapide, le transizioni frequenti e le ricette più lunghe, necessarie per fabbricare chip più piccoli, più veloci e più efficienti, con strutture 3D più complesse. La rete di abbinamento NavX di Advanced Energy è progettata in modo specifico con comunicazione diretta abbinamento-generatore e sintonizzazione ultra-veloce, sfruttando l'hardware AE e gli algoritmi proprietari. Ciò consente una corrispondenza di impedenza sincronizzata RF durante gli stati di impulso multilivello, per un controllo preciso delle caratteristiche del plasma.

NavX si sincronizza direttamente con il generatore RF eVerest e incorpora gli algoritmi proprietari Advanced Selectable Tuning e Velocity Tuning che ottimizzano la velocità di risposta per le sequenze di impulsi. L'intervallo di frequenza +/- 10% del sistema consente una sintonizzazione più rapida e l'accesso a una gamma di impedenze più ampia. L'immunità alla distorsione di intermodulazione (IMD) mantiene l'accuratezza della sintonizzazione nelle applicazioni multifrequenza, mentre gli stati di impulso scalabili offrono un percorso verso nuovi regimi energetici.

La rete di accoppiamento NavX è pienamente compatibile con la piattaforma IoT PowerInsight by Advanced Energy®, che fornisce un accesso rapido a dati ad alta risoluzione e attivabili che supportano l'ottimizzazione dei processi.