Axcelis Technologies, Inc. ha annunciato che presenterà le sue serie Puriono e GSD Ovationo di implanter ionici alla fiera SEMICON Japan 2022. La conferenza e la mostra si terranno dal 14 al 16 dicembre presso il Tokyo Big Sight di Tokyo, in Giappone. Axcelis sarà presente allo stand #5640.

I produttori di semiconduttori sono invitati a visitare l'esposizione di Axcelis per conoscere in prima persona le innovative soluzioni di impianto ionico che offrono significativi vantaggi tecnologici e produttivi. Purion Power Serieso - Presenta l'innovativa soluzione di Axcelis per la lavorazione del silicio e del carburo di silicio (SiC) nell'intero settore delle applicazioni dei dispositivi di potenza. Serie Purion Ho - Include il nuovo Purion H5o, il Purion H200o e il Purion Dragono, tutti progettati per fornire una soluzione completa per gli impianti ad alta corrente.

Serie Purion XEo - Include il nuovo Purion XEmaxo, la piattaforma di impianti ad alta energia leader del settore, con la tecnologia brevettata Boost Technologyo, progettata per le applicazioni di sensori di immagine più avanzate fino a 15MeV. Serie Purion Mo - Offre il più ampio spettro di dosi a media corrente disponibile, consentendo una flessibilità senza pari per soddisfare le esigenze di impianto in continua evoluzione. GSD Ovationo - Offre il modo più conveniente per estendere la capacità della piattaforma batch ad alta corrente e ad alta energia, con la massima affidabilità, manutenibilità e il più basso CoO.