Revasum annuncia il rilascio di un kit di conversione da 200 mm per la sua piattaforma di lucidatura chimico-meccanica (CMP) al carburo di silicio (SiC) 6EZ.
06 luglio 2023 alle 02:53
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Revasum ha annunciato la disponibilità della capacità di lucidatura di wafer SiC da 200 mm sulla piattaforma 6EZ. La piattaforma 6EZ ha già dimostrato il suo valore nella produzione in grandi volumi di substrati SiC da 150 mm e ora è stato completamente testato e rilasciato un kit di conversione da 200 mm, che offre ai clienti la possibilità di aggiornare i sistemi 6EZ sul campo. Il 6EZ è il primo strumento CMP a wafer singolo progettato da zero per la lucidatura dei wafer SiC.
L'architettura del 6EZ, unita alla tecnologia di raffreddamento brevettata, consente di ottenere una forza di caduta e una velocità del tavolo più elevate, ideali per la CMP di materiali duri come il SiC. Il design proprietario del supporto ViPRR fissa il wafer e riduce al minimo l'attrito di lucidatura sul pad per consentire un condizionamento ridotto del pad, una migliore consistenza da wafer a wafer e una maggiore durata dei materiali di consumo.
Revasum, Inc. progetta, produce e commercializza un portafoglio di apparecchiature per il trattamento dei semiconduttori (note anche come sistemi). I sistemi che l'Azienda produce sono parte integrante della catena di produzione e lavorazione di wafer di dimensioni pari o inferiori a 200 mm. Questi wafer sono utilizzati per produrre microchip, sensori, diodi a emissione luminosa (LED), dispositivi a radiofrequenza (RF) e dispositivi di potenza, utilizzati nei dispositivi connessi dell'Internet delle cose (IoT), nei telefoni cellulari, negli indossabili, nelle applicazioni automobilistiche, 5G e industriali. Il suo portafoglio prodotti comprende apparecchiature per la rettifica, la lucidatura e la planarizzazione chimico-meccanica (CMP), utilizzate per produrre substrati e dispositivi per l'industria globale dei semiconduttori. Le sue soluzioni di apparecchiature comprendono la Lucidatrice 6EZ, la Smerigliatrice 7AF-HMG e le Apparecchiature rigenerate. La lucidatrice 6EZ è una lucidatrice automatizzata, a singolo wafer, dry-in-dry-out, progettata specificamente per il carburo di silicio (SiC). L'azienda opera negli Stati Uniti, in Cina, Europa, Giappone, Corea e Taiwan.
Revasum annuncia il rilascio di un kit di conversione da 200 mm per la sua piattaforma di lucidatura chimico-meccanica (CMP) al carburo di silicio (SiC) 6EZ.
REVASUM, INC. 
