Società VM Inc.

VM Inc, in precedenza Adaptive Plasma Technology Corp, è un'azienda con sede in Corea che si occupa principalmente della produzione e della vendita di apparecchiature per l'incisione, utilizzate per la produzione di semiconduttori. Il profilo dei prodotti dell'azienda è costituito da incisori a secco, incisori di diodi a emissione luminosa (LED), incisori di vie passanti in silicio (TSV), sistemi di drogaggio al plasma, sistemi di taglio al plasma e altri. Le incisioni a secco comprendono incisioni di ossido, incisioni di polisilicio (Poly) e incisioni di metallo. Il prodotto principale è il sistema di poli-incisione da 300 mm, che comprende porta di carico, modulo front-end dell'apparecchiatura (EFEM), modulo buffer (BM), modulo di trasferimento (TM) e modulo di processo (PM).