Axcelis Technologies, Inc. annuncia la spedizione dell'impiantatore Purion EXE Power Series al produttore di chip per dispositivi di potenza SiC in Giappone
18 ottobre 2023 alle 14:00
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Axcelis Technologies, Inc. ha annunciato la spedizione dell'implanter Purion EXE SiC Power Series? da 200 mm ad alta energia a un produttore di chip di dispositivi di potenza SiC in Giappone. Il sistema sarà utilizzato per la produzione ad alto volume di dispositivi di potenza SiC da utilizzare nelle applicazioni automobilistiche.
Axcelis Technologies, Inc. progetta, produce e fornisce servizi di impiantazione ionica e altre apparecchiature di trattamento utilizzate nella fabbricazione di chip semiconduttori. L'Azienda offre una linea completa di implantatori ad alta energia, ad alta corrente e a media corrente per tutte le esigenze applicative. Oltre alle apparecchiature, l'Azienda offre un'ampia gamma di prodotti e servizi per il ciclo di vita dell'aftermarket, tra cui strumenti usati, pezzi di ricambio, aggiornamenti delle apparecchiature, servizi di manutenzione e formazione dei clienti. I suoi sistemi di punta Purion sono tutti basati su una piattaforma comune, che consente di combinare purezza dell'impianto, precisione e produttività. Combinando una singola stazione finale del wafer, con architetture avanzate di fasci spot (che assicurano che tutti i punti del wafer vedano la stessa condizione del fascio con lo stesso angolo), i prodotti Purion consentono il controllo del processo per ottimizzare le prestazioni e la resa del dispositivo, ad alta produttività. L'Azienda vende i suoi prodotti ai produttori di chip semiconduttori di tutto il mondo.
Axcelis Technologies, Inc. annuncia la spedizione dell'impiantatore Purion EXE Power Series al produttore di chip per dispositivi di potenza SiC in Giappone